9.19.010
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BRONKHORST HIGH-TECH
INHALTSVERZEICHNIS
1 Einführung
1.1 Allgemeine Beschreibung ................................................................................... Seite 7
1.2 ..... Funktionsweise ................................................................................................... Seite 7
1.3 CEM-Aufbau ....................................................................................................... Seite 7
2 Installierung
2.1 Eingang der Sendung ......................................................................................... Seite 8
2.2 Rücksendung ...................................................................................................... Seite 8
2.3 Service ................................................................................................................ Seite 8
2.4 Einbaulage .......................................................................................................... Seite 8
2.5 Einfüllen der Flüssigkeit ..................................................................................... Seite 8
2.6 In-Line-Filter ....................................................................................................... Seite 8
2.7 Flüssigkeitsanschlüsse ....................................................................................... Seite 9
2.8 Elektrische Anschlüsse....................................................................................... Seite 9
2.9 Sicherheitshinweise ............................................................................................ Seite 9
2.10 Betriebsdruck ...................................................................................................... Seite 9
2.11 Reinigung des Systems ...................................................................................... Seite 9
2.12 Dichtungen ......................................................................................................... Seite 9
3 Betrieb
3.1 Allgemein ............................................................................................................ Seite 10
3.2 Spannungsversorgung und Aufwärmen ............................................................. Seite 10
3.3 Starten / Ausschalten ......................................................................................... Seite 10
4 Kabel
4.1 EMC und Kabel .................................................................................................. Seite 12
Anhang
Empfehlungen für die Anwendung des DLI (CEM) Systems
von Bronkhorst High-Tech
A. Vakuum-System
B. Überdruck-System
(38 Seiten)
(39 Seiten)
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(7 Seiten)
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